上海球化爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,，制造致密的沉積薄膜,，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷,，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化,，也可以單獨(dú)處理,。 上海球化爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類，將退火爐分為電加熱爐,，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

上海球化爐有很多種類,，用途也較為廣泛，主要工作在自然氣氛或保護(hù)氣氛中,，對(duì)較長(zhǎng)金屬工件(桿類,、長(zhǎng)軸類)進(jìn)行熱處理或燒結(jié)。井式電阻爐以圓柱形居多,，因爐體較長(zhǎng),，為了裝出工件操作方便，大中型井式電阻爐通常安裝在地坑中,，只有部分露在地面之上,。外加熱井式電阻爐爐外殼由鋼板加工而成，爐襯結(jié)構(gòu)與箱式電阻爐相似,，由隔熱耐火層和保溫層組成,。根據(jù)工作溫度的不同，分為高溫,、中溫和低溫井式電阻爐,，各采用不同的爐襯材料。有的上海球化爐為了減小體積,，爐體和爐蓋均采用水冷方式,，這種爐子沒有耐火層和保溫層，采用金屬材料做隔熱屏,，其能量消耗要比采用保溫材料做成的爐襯大得多,。

1.操作人員應(yīng)熟悉上海球化爐及其輔助設(shè)備的結(jié)構(gòu)和性能，配電系統(tǒng),，控制系統(tǒng)的布局以及可靠設(shè)備的位置,，維護(hù)之前的操作過程和操作程序 。2.每天使用上海球化爐時(shí),，檢查設(shè)備電源是否正常,，是否有斷電，短路或裸線等情況,，請(qǐng)定期檢查接地設(shè)備的連接是否牢固,。 好，并檢查加熱元件是否損壞,。 每個(gè)連接處的接觸是否良好,，爐體和爐蓋是否接觸良好，檢查溫度控制系統(tǒng)是否異常,，并檢查爐門是否被抬起以及手推車的進(jìn)出狀態(tài),。3.嚴(yán)禁有腐蝕性，揮發(fā)性和爆炸性氣體的工件進(jìn)入熔爐進(jìn)行加工,，以免影響加熱元件和耐火材料的使用壽命,，并引起爆炸等事故。4.電爐不得在高溫下運(yùn)行,，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命,。5.鱗片過多的工件在進(jìn)入爐子之前需要清洗，可以用鋼絲刷刷洗,。6.工件均勻堆放,，距加熱元件的距離應(yīng)在100-150mm左右。7,，嚴(yán)禁殘酷操作,，應(yīng)輕放工件，以免碰撞,。8.使用電爐時(shí),，操作員不得擅自離開崗位，必須時(shí)刻注意電爐是否處于正常工作狀態(tài)9.在電爐裝載和卸載工件時(shí),，必須切斷加熱元件的電源,，以確保操作人員的安全。10.應(yīng)當(dāng)經(jīng)常清洗爐子中的氧化物,，至少每周一次或每五個(gè)爐子清洗一次,。 可以用壓縮空氣吹熔爐的底部。11.使用電阻絲后,，它不得碰撞和塌陷,，以免斷裂。

上海球化爐是具有高產(chǎn)量和低勞動(dòng)強(qiáng)度的連續(xù)爐,。 特別適用于簡(jiǎn)單的熱處理工藝,，大批量小工件的退火熱處理，且爐子成本較高,。上海球化爐與鐘形退火有關(guān),。 連續(xù)退火是一種生產(chǎn)方法，其中帶材連續(xù)地通過退火爐而沒有密封,，并且?guī)Р闹苯泳砣《粫?huì)停留,。 在生產(chǎn)應(yīng)用中，連續(xù)退火被廣泛使用,。 連續(xù)退火將變形后的晶粒轉(zhuǎn)變?yōu)榫鶆虻牡容S晶粒,，同時(shí)消除了加工硬化和殘余內(nèi)應(yīng)力，并且通過熱處理工藝將鋼的結(jié)構(gòu)和性能恢復(fù)到冷變形前的狀態(tài),。連續(xù)退火爐的特點(diǎn)：它由爐殼支架,，全硅酸鋁纖維爐襯，可調(diào)節(jié)開閉度的爐門等組成,。爐殼是上下半部的組合結(jié)構(gòu),，由型鋼和鋼板焊接而成,。 爐體的下半部分設(shè)有用于型鋼的焊接支座。 爐體的上半部分是可移動(dòng)的可移動(dòng)模塊結(jié)構(gòu),，便于安裝和維護(hù),。 入口和出口配有可調(diào)式爐門。加熱系統(tǒng)：鋼恒陶瓷管纏繞電阻絲Ocr25,，分布在爐膛的上下部分,。 使?fàn)t內(nèi)溫度均勻。

（1）上海球化爐的燃燒器應(yīng)沿熔池的切線方向安裝,。浴鍋每隔一定的時(shí)間（例如每周）每30到40轉(zhuǎn)一次,，以防止浴鍋過熱和燒壞，以延長(zhǎng)浴鍋的壽命,。（2）在熔池法蘭和爐盤之間涂上耐火水泥或石棉襯墊密封墊,，以防止熔融鹽流入爐中。上海球化爐不宜用燃料加熱硝酸鹽爐，以防止在爐管燒穿后由炭黑和硝酸鹽的作用引起的爆炸。（3）轉(zhuǎn)向架爐膛的爐膛底部應(yīng)設(shè)有鹽孔,，以備事故發(fā)生時(shí)將熔融鹽排出,，并通常用適當(dāng)?shù)牟牧隙伦　＃?）臺(tái)車爐使用兩個(gè)熱電偶分別測(cè)量鹽浴和加熱元件附近的爐溫。（5）使用氰化物，鉛，堿等有毒鹽時(shí),，應(yīng)配備堅(jiān)固的通風(fēng)裝置。新購(gòu)買或翻新的電極鹽浴爐應(yīng)進(jìn)行烘烤,。 它可以用電阻絲爐烘烤,，分段加熱并絕緣，以防止混凝土浴中出現(xiàn)裂縫,。爐殼和變壓器接地,。銅條應(yīng)與電極手柄良好接觸。檢查浴槽,，電極,，電極手柄，變壓器和水冷卻裝置是否短路,。清除爐子所有部位的粘鹽,，水垢和其他污垢。

上海球化爐構(gòu)造與普通井式爐相同,，由爐體,、爐蓋、加熱元件,、裝料筐,、吊架和溫控系統(tǒng)等組成,。 上海球化爐爐體外殼用鋼材焊接成圓桶狀，內(nèi)用0.6g/cm3超輕質(zhì)節(jié)能耐火磚砌筑成豎井式爐膛,，承重部位和易碰撞部位用重質(zhì)耐火磚砌筑,，且砌筑時(shí)泥漿中摻入適量水玻璃,，進(jìn)步爐襯構(gòu)造強(qiáng)度,，保溫層采用硅酸鋁耐火纖維、石棉板,、硅藻土保溫磚復(fù)合構(gòu)造,，進(jìn)步爐體保溫性能，降低爐壁溫升,。該構(gòu)造既可進(jìn)步爐蓋保溫性能,，又減輕了爐蓋重量，有利于爐蓋的啟閉,。爐蓋的啟閉是經(jīng)過行車起吊來停止的,。爐蓋與爐體的密封是經(jīng)過密封槽來停止的，運(yùn)用時(shí)密封槽一次注滿清潔干河砂(或砂棉)即可,，不用每爐添加,。