舟山罩式爐一,、用處:本井式球化退火爐適用于鋼帶,、銅帶,、線材等工件停止光亮退火用,,回火,。同時(shí)也供其他機(jī)件熱處置之用。二,、主要技術(shù)參數(shù): 1,、額定功率:280KW±10% 2、額定電壓:380V 3,、額定溫度:950℃ 4,、運(yùn)用溫度:0-950℃ 5、頻 率:50HZ 6,、相 數(shù):3相 7,、工作尺寸:Φ1800×3000mm 8、空爐升溫時(shí)間:≦1.5h 9,、空爐損耗功率:44KW 10,、控溫區(qū)數(shù):3區(qū) 11、控制方式:P I D 12,、爐溫平均性:±10℃ 13,、接法:Y 14、最 大裝載量:5000kg.三,、爐型構(gòu)造:本井式球化退火爐是由爐體,、爐襯、加熱元件,、爐膽,、及控制系統(tǒng)等舟山罩式爐附件組成。 ⑴ 爐體爐體是采用國(guó)標(biāo)型鋼和鋼板卷成圓桶焊接而成,,角鋼卷增強(qiáng),,槽鋼底座,構(gòu)造結(jié)實(shí).
舟山罩式爐基于鋼的相變臨界點(diǎn),。加熱時(shí),,舟山罩式爐必須形成微細(xì)且均勻的奧氏體晶粒,淬火后需要獲得微細(xì)的馬氏體組織,。碳鋼的淬火加熱溫度范圍,。淬火爐加熱溫度范圍圖中所示的淬火溫度選擇原理也適用于大多數(shù)合金鋼,尤其是低合金鋼,。次共析鋼的加熱溫度比Ac3溫度高30至50°C,。從圖中可以看出,鋼在高溫下的狀態(tài)處于單相奧氏體(A)區(qū),,因此稱為全淬火,。如果亞共析鋼的加熱溫度高于Ac1且低于Ac3溫度,則第一共析鐵素體的一部分在高溫下不會(huì)轉(zhuǎn)變成奧氏體,,即,,不是所有(或亞臨界)淬火,。高共析鋼的淬火溫度比Ac1溫度高30-50°C,該溫度范圍在奧氏體和滲碳體(A C)兩相區(qū)域,。因此,,超共析鋼的常規(guī)淬火仍未全部淬火。硬化后,,獲得分布在馬氏體基體上的滲碳體組織,。這種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)具有高硬度和高耐磨性,。 對(duì)于超共析鋼,,如果加熱溫度過(guò)高,則第一個(gè)共析滲碳體會(huì)溶解過(guò)多,,甚至全部溶解,,奧氏體晶粒會(huì)長(zhǎng)大,奧氏體碳含量也會(huì)增加,。淬火后,,粗的馬氏體組織增加了鋼淬火微觀區(qū)域的應(yīng)力,增加了微裂紋的數(shù)量,,并增加了零件的變形和開(kāi)裂趨勢(shì),。由于奧氏體的碳濃度高,因此馬氏體點(diǎn)降低,,殘留奧氏體量減少,。增加,降低工件的硬度和耐磨性,。
舟山罩式爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程,,該過(guò)程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,制造致密的沉積薄膜,,改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,也可以單獨(dú)處理,。 舟山罩式爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,可節(jié)電60%,。根據(jù)熱源的分類,,將退火爐分為電加熱爐,,燃煤退火爐,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),,該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。
舟山罩式爐通過(guò)分析帶材退火爐的退火過(guò)程曲線,,已知舟山罩式爐在帶材冷卻的初期容易發(fā)生粘結(jié),。帶材表面的清潔度和保護(hù)氣體的純度也是引起粘結(jié)的關(guān)。因此,,避免綁定可以從以下方法中選擇: 在退火過(guò)程的冷卻階段,,冷卻速度越快,盤管內(nèi)部和外部之間的溫差越大,,形成的壓縮應(yīng)力越大,,尤其是在冷卻開(kāi)始時(shí)形成的壓縮應(yīng)力越大。 在420到620攝氏度之間的溫度下很容易形成鍵,。 因此,,當(dāng)冷卻開(kāi)始時(shí)帶鋼溫度高于420攝氏度時(shí),冷卻速度不能太快,。使用加熱罩冷卻至420攝氏度,,然后將冷卻罩更換為空氣冷卻和水冷卻。清潔帶材表面,,以減少帶材表面殘留的物質(zhì)和殘留的化學(xué)反應(yīng),,主要是氧化鐵粉,油和殘留的乳液,。這些物質(zhì)將在罩式爐中產(chǎn)生一系列化學(xué)反應(yīng),。與鐵發(fā)生氧化還原反應(yīng),然后在壓縮應(yīng)力的作用下焊接在一起,,從而形成鍵,。根據(jù)需要,需要采取諸如改善帶材表面的清潔度,,適當(dāng)選擇乳液以及設(shè)置適當(dāng)?shù)淖⑸鋲毫Φ却胧?.使用高純度氫氣提高吹掃效率,,提高保護(hù)氣體和整個(gè)吹掃內(nèi)蓋的純度,可有效減少帶鋼表面的氧化和粘附,。