工業(yè)上在設定的紹興滲碳爐內(nèi)采用井式回火爐的溫度。紹興滲碳爐溫度控制系統(tǒng)主要由四個部分組成：溫度傳感器,，溫度調(diào)節(jié)器,，執(zhí)行裝置和受控對象,。其系統(tǒng)結(jié)構圖,。受控對象是大容量,，大慣量的電爐溫度對象,，這是典型的多級體積滯后特性,。在工程中,，通常將其包括二階體積滯后和純滯后,。 因為被控制對象具有大的電容，所以通常將熱處理的晶閘管用作調(diào)節(jié)器的致動器,。執(zhí)行器的特性：電爐的溫度調(diào)節(jié)是通過調(diào)節(jié)器的間歇作用來改變電爐絲關閉時間tb與打開時間tk的比值α,，α= tb / tk（供電能量 ）。設周期tc的導通周期的波數(shù)為n,，每個周期的周期為t,，則穩(wěn)壓器的輸出功率為p = n×t×pn / tc，pn為電壓的時間 在設定周期tc內(nèi)完全通過,。設備的輸出功率,。在工業(yè)中，調(diào)節(jié)坑式爐的溫度是通過打開電路幾個周期然后在設定的周期內(nèi)關閉幾個周期以改變晶閘管在晶閘管中的導通和關斷時間的比率來調(diào)節(jié)負載,。

紹興滲碳爐的基礎上進一步把握了進步爐溫的技術,，從而出產(chǎn)出了鑄鐵 1794年，世界上呈現(xiàn)了熔煉鑄鐵的直筒形沖天爐,。后到1864年,，法國人馬丁運用英國人西門子的蓄熱式爐原理，締造了用氣體燃料加熱的第一臺煉鋼平爐,。他利用蓄熱室對空氣和煤氣進行高溫預熱,，從而保證了煉鋼所需的1600℃以上的溫度,。1900年前后，電能供應逐漸足夠,，開始使用各種電阻爐,、電弧爐和有 芯感應爐。二十世紀50年代,，無芯感應爐得到迅速開展,。后來又呈現(xiàn)了電子束爐，利用電子束來沖擊固態(tài)燃料,，能強化外表加熱和熔化高熔點的材料,。紹興滲碳爐用于鑄造加熱的爐子最 早是手鍛爐，其作業(yè)空間是一個凹形槽,，槽內(nèi)填入煤炭,，焚燒用的空氣由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加熱,。這種爐子的熱效率很低,，加熱質(zhì)量也欠好，并且只能 加熱小型工件,，以后開展為用耐火磚砌成的半封閉或全封閉爐膛的室式爐,，能夠用煤，煤氣或油作為燃料,，也可用電作為熱源,，工件放在爐膛里加熱。

紹興滲碳爐是用于制造半導體器件的過程,，該過程包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,，制造致密的沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復注入的損傷,，移動摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化,，也可以單獨處理。 紹興滲碳爐由設計用于加熱半導體晶片的設備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構和纖維結(jié)構的節(jié)能循環(huán)式操作爐,，可節(jié)電60％。根據(jù)熱源的分類,，將退火爐分為電加熱爐,，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。

紹興滲碳爐主要由外罩,，內(nèi)管,，對流管，燃燒器,，爐底攪拌循環(huán)風機,，強制冷卻風機，甲醇裂化爐等組成,。外殼由鋼板外殼,，爐襯和爐頂懸掛梁組成。 外殼是整個爐體的結(jié)構支撐,。 下部有一對導向環(huán),，用于固定在爐膛兩側(cè)高度略有不同的導向柱上，以確保蓋和爐膛的中心線重合,。內(nèi)筒的功能是將煙道氣流動空間與工件所處的受控氣氛流動空間分隔開,，同時，它也是傳熱過程中的熱交換表面,。 紹興滲碳爐內(nèi)筒具有良好的密封性能,，較強的耐高溫性和抗氧化性，并具有一定的剛度,，可以增加換熱面積,，減少變形，延長使用壽命,。對流氣缸的作用是確保將要處理的物料與內(nèi)缸分離,，并為對流通道提供受控的氣氛。 熱氣流首先沿對流氣缸和內(nèi)氣缸之間的環(huán)面上升,，然后下降進入物料堆,。 環(huán)空中的氣體速度很高并且保持不變，這有利于氣流與內(nèi)筒之間的熱傳遞,。

紹興滲碳爐特點（1）嚴格的真空密封：眾所周知,，金屬零件的真空熱處理是在密閉的真空爐中進行的,。因此，紹興滲碳爐獲得并保持了爐子的原始泄漏率,，以確保真空爐的真空度,。質(zhì)量很重要。 因此,，真空退火熱處理爐的關鍵問題是具有可靠的真空密封結(jié)構,。為了確保真空爐的真空性能，在真空退火熱處理爐的結(jié)構設計中必須遵循基本原理,，即爐體必須氣密焊接,，同時， 爐體應盡可能少地打開或關閉,。密封結(jié)構可最 大程度減少真空泄漏的機會,。安裝在真空爐主體上的組件和配件，例如水冷電極和熱電偶引出裝置,，也必須設計成密封結(jié)構（2）大多數(shù)加熱和保溫材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空退火熱處理爐的加熱和保溫襯里是在真空和高溫下工作的,，因此建議這些材料能耐高溫和低蒸汽壓 。輻射效果好,，導熱系數(shù)小,。抗氧化性能不高,。因此,，真空退火熱處理爐廣泛使用鉭，鎢,，鉬和石墨作為加熱和絕熱材料,。這些材料在大氣中極易氧化，因此常規(guī)的加熱爐不能使用這些加熱和絕緣材料,。

紹興滲碳爐由爐體,，爐門，加熱元件,，通風機構和控制系統(tǒng)組成,。紹興滲碳爐爐體由型鋼和鋼板焊接而成。爐襯的內(nèi)壁通過不銹鋼板整體與爐殼連接,。爐體和爐套中填充了硅酸鋁耐火纖維以進行隔熱,。爐門設計在爐體的下部，這意味著工件從下方進入和離開,。 爐體的下部開口被打開,，并且爐門的打開和關閉動作被機械地驅(qū)動，并且由電動機,，減速齒輪箱,，鏈輪,，鏈條，軌道等完成,。加熱元件采用高電阻合金電阻帶,，該電阻帶通過特殊的掛鉤布置在襯套的兩側(cè)，以與襯套絕緣,。風扇由鼓風機和導風板組成,。 鼓風機電機和加熱元件電氣互鎖。 只有在鼓風機打開后才能給加熱元件通電,。 這確保了加熱元件可以在通風循環(huán)中工作,。 在爐體的下部設有一個池，以便工件可以在短時間內(nèi)進入池中進行淬火處理,?？刂撇糠植捎镁чl管和數(shù)顯表控制溫度和報警。電爐在門的開閉機構和裝卸機構上裝有限位開關,。 該開關連接到控制柜電源。