德清熱處理爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面，制造致密的沉積薄膜,，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化，也可以單獨(dú)處理,。 德清熱處理爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類,，將退火爐分為電加熱爐,，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

新購置德清熱處理爐或重修的電極鹽浴爐應(yīng)烘爐,，可用電阻絲盤爐烘烤，分段升溫和保溫,，以防混凝土浴槽開裂,。工作時(shí)應(yīng)開動(dòng)排風(fēng)裝置，停電時(shí)德清熱處理爐應(yīng)加蓋,。爐殼與變壓器接地,。銅排與電極柄應(yīng)接觸良好。檢查浴槽,，電極,，電極柄，變壓器及水冷卻裝置等部位有無漏電短路,。清理爐子各部位的粘鹽,，氧化皮等污物。鹽液面應(yīng)保持一定高度,，以保證工件能均勻,，快速加熱，應(yīng)及時(shí)脫氧,，撈渣,，加足夠新鹽。因電極鹽爐啟動(dòng)困難而哲時(shí)停爐時(shí),，可在爐口加蓋并在低檔供電下保溫,；長期停電應(yīng)撈出部分鹽液，并安放啟動(dòng)裝置,。

德清熱處理爐是根據(jù)用戶要求專門設(shè)計(jì)的非標(biāo)準(zhǔn)電爐,。 德清熱處理爐主要用于鋁工業(yè)中各種工件的熱處理，例如淬火和加熱,。使用條件：1.室內(nèi)使用,。2.環(huán)境溫度為-5℃-40℃。3.使用區(qū)域的月平均相對(duì)濕度不超過85％,，月平均溫度不超過30°C,。4.沒有導(dǎo)電性粉塵，爆炸性氣體和腐蝕性氣體會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞金屬和絕緣,。5.沒有明顯的振動(dòng)和顛簸,。該爐由爐體，爐門,，加熱元件,，通風(fēng)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)組成。爐體由型鋼和鋼板焊接而成,。爐襯的內(nèi)壁通過不銹鋼板整體與爐殼連接,。爐體和爐套中填充了硅酸鋁耐火纖維以進(jìn)行隔熱,。爐門設(shè)計(jì)在爐體的下部，這意味著工件從下方進(jìn)入和離開,。爐體的下部開口被打開,，并且爐門的打開和關(guān)閉動(dòng)作被機(jī)械地驅(qū)動(dòng)，并且由電動(dòng)機(jī),，減速齒輪箱,，鏈輪，鏈條,，軌道等完成,。加熱元件采用高電阻合金電阻帶，該電阻帶通過特殊的掛鉤布置在襯套的兩側(cè),，以與襯套絕緣,。風(fēng)扇由鼓風(fēng)機(jī)和導(dǎo)風(fēng)板組成。

（1）德清熱處理爐的燃燒器應(yīng)沿熔池的切線方向安裝,。浴鍋每隔一定的時(shí)間（例如每周）每30到40轉(zhuǎn)一次,，以防止浴鍋過熱和燒壞，以延長浴鍋的壽命,。（2）在熔池法蘭和爐盤之間涂上耐火水泥或石棉襯墊密封墊,，以防止熔融鹽流入爐中。德清熱處理爐不宜用燃料加熱硝酸鹽爐,，以防止在爐管燒穿后由炭黑和硝酸鹽的作用引起的爆炸,。（3）轉(zhuǎn)向架爐膛的爐膛底部應(yīng)設(shè)有鹽孔，以備事故發(fā)生時(shí)將熔融鹽排出,，并通常用適當(dāng)?shù)牟牧隙伦?。?）臺(tái)車爐使用兩個(gè)熱電偶分別測(cè)量鹽浴和加熱元件附近的爐溫。（5）使用氰化物,，鉛,，堿等有毒鹽時(shí)，應(yīng)配備堅(jiān)固的通風(fēng)裝置,。新購買或翻新的電極鹽浴爐應(yīng)進(jìn)行烘烤,。 它可以用電阻絲爐烘烤，分段加熱并絕緣,，以防止混凝土浴中出現(xiàn)裂縫,。爐殼和變壓器接地。銅條應(yīng)與電極手柄良好接觸,。檢查浴槽，電極,，電極手柄,，變壓器和水冷卻裝置是否短路,。清除爐子所有部位的粘鹽，水垢和其他污垢,。