安吉臺(tái)車爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,，制造致密的沉積薄膜,，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復(fù)注入的損傷,，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化，也可以單獨(dú)處理,。 安吉臺(tái)車爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類,，將退火爐分為電加熱爐，燃煤退火爐,，燃油退火爐,，天然氣退火爐和氣體退火爐。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng)，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

新購置安吉臺(tái)車爐或重修的電極鹽浴爐應(yīng)烘爐,，可用電阻絲盤爐烘烤，分段升溫和保溫,，以防混凝土浴槽開裂,。工作時(shí)應(yīng)開動(dòng)排風(fēng)裝置，停電時(shí)安吉臺(tái)車爐應(yīng)加蓋,。爐殼與變壓器接地,。銅排與電極柄應(yīng)接觸良好。檢查浴槽，電極,，電極柄,，變壓器及水冷卻裝置等部位有無漏電短路。清理爐子各部位的粘鹽,，氧化皮等污物,。鹽液面應(yīng)保持一定高度，以保證工件能均勻,，快速加熱,，應(yīng)及時(shí)脫氧，撈渣,，加足夠新鹽,。因電極鹽爐啟動(dòng)困難而哲時(shí)停爐時(shí)，可在爐口加蓋并在低檔供電下保溫,；長期停電應(yīng)撈出部分鹽液,，并安放啟動(dòng)裝置。

安吉臺(tái)車爐是具有高產(chǎn)量和低勞動(dòng)強(qiáng)度的連續(xù)爐,。 特別適用于簡單的熱處理工藝,，大批量小工件的退火熱處理，且爐子成本較高,。安吉臺(tái)車爐與鐘形退火有關(guān),。 連續(xù)退火是一種生產(chǎn)方法，其中帶材連續(xù)地通過退火爐而沒有密封,，并且?guī)Р闹苯泳砣《粫?huì)停留,。 在生產(chǎn)應(yīng)用中，連續(xù)退火被廣泛使用,。 連續(xù)退火將變形后的晶粒轉(zhuǎn)變?yōu)榫鶆虻牡容S晶粒,，同時(shí)消除了加工硬化和殘余內(nèi)應(yīng)力，并且通過熱處理工藝將鋼的結(jié)構(gòu)和性能恢復(fù)到冷變形前的狀態(tài),。連續(xù)退火爐的特點(diǎn)：它由爐殼支架,，全硅酸鋁纖維爐襯，可調(diào)節(jié)開閉度的爐門等組成,。爐殼是上下半部的組合結(jié)構(gòu),，由型鋼和鋼板焊接而成。 爐體的下半部分設(shè)有用于型鋼的焊接支座,。 爐體的上半部分是可移動(dòng)的可移動(dòng)模塊結(jié)構(gòu),，便于安裝和維護(hù)。 入口和出口配有可調(diào)式爐門,。加熱系統(tǒng)：鋼恒陶瓷管纏繞電阻絲Ocr25,，分布在爐膛的上下部分,。 使?fàn)t內(nèi)溫度均勻。

安吉臺(tái)車爐為中等工業(yè)窯爐,，呈長條形,。車輛廠鍛冶車間車軸連續(xù)安吉臺(tái)車爐原選用燃油亞高速燒嘴，首要用于火車車軸加熱鑄造后進(jìn)行熱處理,，是車輛廠鍛冶車間首要設(shè)備之一,。改造后的光亮退火爐的爐溫分為三區(qū)，其間工件由推鋼機(jī)推入爐膛一區(qū)——加熱區(qū),，有兩邊墻上下錯(cuò)列安置的四只燒嘴,，軌道由耐火磚砌成的拱支承，使工件可雙面 加熱,，再向前是二區(qū)和三區(qū)——恒溫區(qū)，在兩邊墻同高度錯(cuò)列安置四個(gè)燒嘴,。八只燒嘴均選用低壓渦流燒嘴,，一區(qū)和二區(qū)之間設(shè)有間隔梁，在爐子前后頂部配有兩臺(tái) 復(fù)合式金屬換熱器,。兩邊爐墻,，爐底均選用磚砌構(gòu)造，爐頂用耐火纖維氈制成,，選用一臺(tái)高壓風(fēng)機(jī)一起供給助燃風(fēng)和用于排煙的引射風(fēng),。在煤氣總管，空氣總管上設(shè) 有調(diào)節(jié)閥和流量孔板,，在引射風(fēng)總管上也設(shè)有調(diào)節(jié)閥,，一起配備了一套領(lǐng)先的微機(jī)控制系統(tǒng)，顯現(xiàn)儀表以及保護(hù)設(shè)備等,。