紹興井式爐一、用處：本井式球化退火爐適用于鋼帶,、銅帶,、線材等工件停止光亮退火用,，回火,。同時(shí)也供其他機(jī)件熱處置之用,。二,、主要技術(shù)參數(shù)： 1,、額定功率：280KW±10% 2,、額定電壓：380V 3,、額定溫度：950℃ 4、運(yùn)用溫度：0－950℃ 5,、頻 率：50HZ 6,、相 數(shù)：3相 7,、工作尺寸:Φ1800×3000mm 8、空爐升溫時(shí)間：≦1.5h 9,、空爐損耗功率：44KW 10,、控溫區(qū)數(shù)：3區(qū) 11、控制方式：P I D 12,、爐溫平均性：±10℃ 13,、接法：Y 14、最 大裝載量：5000kg.三,、爐型構(gòu)造：本井式球化退火爐是由爐體,、爐襯、加熱元件,、爐膽,、及控制系統(tǒng)等紹興井式爐附件組成。 ⑴ 爐體爐體是采用國標(biāo)型鋼和鋼板卷成圓桶焊接而成,，角鋼卷增強(qiáng),，槽鋼底座，構(gòu)造結(jié)實(shí).

紹興井式爐特點(diǎn)（1）嚴(yán)格的真空密封：眾所周知,，金屬零件的真空熱處理是在密閉的真空爐中進(jìn)行的,。因此，紹興井式爐獲得并保持了爐子的原始泄漏率,，以確保真空爐的真空度,。質(zhì)量很重要。 因此,，真空退火熱處理爐的關(guān)鍵問題是具有可靠的真空密封結(jié)構(gòu),。為了確保真空爐的真空性能，在真空退火熱處理爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須遵循基本原理,，即爐體必須氣密焊接,，同時(shí)， 爐體應(yīng)盡可能少地打開或關(guān)閉,。密封結(jié)構(gòu)可最 大程度減少真空泄漏的機(jī)會(huì),。安裝在真空爐主體上的組件和配件，例如水冷電極和熱電偶引出裝置,，也必須設(shè)計(jì)成密封結(jié)構(gòu)（2）大多數(shù)加熱和保溫材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空退火熱處理爐的加熱和保溫襯里是在真空和高溫下工作的,，因此建議這些材料能耐高溫和低蒸汽壓 。輻射效果好,，導(dǎo)熱系數(shù)小,。抗氧化性能不高,。因此,，真空退火熱處理爐廣泛使用鉭,，鎢，鉬和石墨作為加熱和絕熱材料,。這些材料在大氣中極易氧化,，因此常規(guī)的加熱爐不能使用這些加熱和絕緣材料。

紹興井式爐構(gòu)造與普通井式爐相同,，由爐體,、爐蓋、加熱元件,、裝料筐,、吊架和溫控系統(tǒng)等組成。 紹興井式爐爐體外殼用鋼材焊接成圓桶狀,，內(nèi)用0.6g/cm3超輕質(zhì)節(jié)能耐火磚砌筑成豎井式爐膛,，承重部位和易碰撞部位用重質(zhì)耐火磚砌筑，且砌筑時(shí)泥漿中摻入適量水玻璃,，進(jìn)步爐襯構(gòu)造強(qiáng)度,，保溫層采用硅酸鋁耐火纖維,、石棉板,、硅藻土保溫磚復(fù)合構(gòu)造，進(jìn)步爐體保溫性能,，降低爐壁溫升,。該構(gòu)造既可進(jìn)步爐蓋保溫性能，又減輕了爐蓋重量,，有利于爐蓋的啟閉,。爐蓋的啟閉是經(jīng)過行車起吊來停止的。爐蓋與爐體的密封是經(jīng)過密封槽來停止的,，運(yùn)用時(shí)密封槽一次注滿清潔干河砂(或砂棉)即可,，不用每爐添加。

紹興井式爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,，制造致密的沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復(fù)注入的損傷,，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化,，也可以單獨(dú)處理,。 紹興井式爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類，將退火爐分為電加熱爐,，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

?跟著微機(jī)可控技能在紹興井式爐生產(chǎn)中的遍及使用操作過程中須特別注意:( 1)開機(jī)前一定完全排掉進(jìn)甲醇裂解爐管路中的空氣;( 2)甲醇對(duì)人體、環(huán)境有害, 儲(chǔ)存及輸送管道有必要杜絕泄漏;( 3)爐氣廢氣中的CO和H2易燃,、易爆,、有毒, 應(yīng)在爐口充沛焚燒;( 4)查看循環(huán)冷卻水、爐底拌和風(fēng)扇,、氣氛壓力,、爐體密封、熱電偶是不是正常,。接連使用后, 甲醇裂解爐內(nèi)可能發(fā)作炭黑,散落在爐膛反應(yīng)器內(nèi),須每爐除炭一次,。爐膛除炭不完全會(huì)形成:( 1)熱電偶因積炭形成測溫不正確,使發(fā)熱體溫度過高,形成發(fā)熱體損壞;( 2)甲醇裂解不完全, 氣氛少,影響工藝質(zhì)量。爐膛除炭工藝: 封閉甲醇入爐總閥,封閉甲醇流量計(jì)出口球閥,翻開上部球閥利用小鋼棒或壓縮空氣將積炭從紹興井式爐下部球閥出口排出爐外若爐膛反應(yīng)器內(nèi)積炭嚴(yán)重,須翻開反應(yīng)器,進(jìn)入其內(nèi)部進(jìn)行整理,。使用一段時(shí)間后,甲醇裂解氣管道內(nèi)可能發(fā)作炭黑等雜物,須根據(jù)狀況定期除炭,。辦法是將退火爐爐蓋翻開,封閉甲醇裂解氣,使甲醇裂解氣管道與甲醇裂解爐不相通,翻開壓縮空氣,將甲醇裂解氣管道內(nèi)雜物吹出,直至退火爐內(nèi)無黑煙冒出。其他一些管道如分析儀進(jìn)氣管道發(fā)作阻塞也可利用壓縮空氣處置,。

紹興井式爐采用熱水加熱,，房間溫度更合適，紹興井式爐節(jié)煤效果比蒸汽加熱更為明顯,，因此受到供熱用戶的青睞,。1.不要控制供水。2.未認(rèn)真執(zhí)行《低壓鍋爐水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》,。代碼中有明確的規(guī)則,。當(dāng)供水溫度≤95℃時(shí)，循環(huán)水應(yīng)將PH值控制在10?12。這是一個(gè)非常重要的目標(biāo),，但有些單位無法實(shí)現(xiàn),。根據(jù)相關(guān)的鍋爐使用規(guī)則，熱水系統(tǒng)的泄漏通常不能大于系統(tǒng)水容量的1％,。有人錯(cuò)誤地認(rèn)為,，用熱水鍋爐使用熱水更方便，所以用這種熱水做其他事情,，因此每天需要補(bǔ)充近100噸水,。然而，當(dāng)在停止退火爐之后檢查退火爐的內(nèi)部時(shí),，發(fā)現(xiàn)這些鍋爐的腐蝕非常嚴(yán)重,。3.供熱管網(wǎng)設(shè)備不合格，循環(huán)水不能送至系統(tǒng)末端,。為了避免被凍結(jié),，一些用戶增加了排出空氣，排出熱水和不排出冷氣的次數(shù),。結(jié)果,，泄漏增加。4.無保護(hù)地停爐,。 加熱期過后,，鍋爐將關(guān)閉。有些鍋爐裝滿了去離子水,，有些鍋爐則暴露在大氣中,，缺乏必要的保護(hù),。