一、金華箱式爐通電后無法開機1,、電源不符合規(guī)格的要求排除方法:1,、接上規(guī)格上面要求的電源2,、把零線接上二,、鋁合金淬火爐加熱開關(guān)沒有開,但是溫度在上升原因分析:加熱交流接觸器的觸頭粘合在一起,無法斷開。排除方法:更換接觸器,。三、金華箱式爐爐體內(nèi)部的溫度不均,,出現(xiàn)異常偏高原因分析:1,、熱電偶反應(yīng)不靈敏2、溫控儀不靈敏,,動作失控3,、工件擺放不合理,爐門沒有關(guān)好排除方法:1,、更換熱電偶2,、更換溫控儀3、改變工件的放置方法,,關(guān)好爐門四、打開加熱開關(guān),,電源跳閘原因分析:1,、發(fā)熱絲以及電爐短路2、電源總閘開關(guān)容量過小3,、主電源開關(guān)盒安裝了漏電保護開關(guān),,但是接線不正確排除方法:1、拆開爐體的內(nèi)部四周,,檢查發(fā)熱絲2,、更換大容量的開關(guān)3、檢查線路并且更正
金華箱式爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,,該過程包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,,制造致密的沉積薄膜,改變生長薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,,移動摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,,也可以單獨處理。 金華箱式爐由設(shè)計用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,,可節(jié)電60%。根據(jù)熱源的分類,將退火爐分為電加熱爐,,燃煤退火爐,,燃油退火爐,天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),,該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。
金華箱式爐是根據(jù)用戶要求專門設(shè)計的非標(biāo)電爐。它主要用于金華箱式爐鋁工業(yè)中各種工件的淬火和加熱,。(1)燃料淬火爐的燃燒器沿坩堝的切線方向安裝,,并且坩堝每次(例如每周)旋轉(zhuǎn)30-40°以延長坩堝的壽命。(2)坩堝法蘭和爐面板之間的間隙應(yīng)用耐火泥或石棉密封,,以防止熔融鹽流入工業(yè)爐的爐中,。(3)避免用燃料加熱硝酸鹽爐,以防止過熱引起爆炸,。(4)應(yīng)在熔爐底部設(shè)置一個鹽孔,,以準(zhǔn)備在發(fā)生事故時將熔融鹽排出。 通常,,應(yīng)使用適當(dāng)?shù)牟牧蠈⑵涠氯?。?)燃油爐應(yīng)控制燃燒過程,使用少量過量空氣系數(shù),,使燃燒產(chǎn)物接近中性,,并防止橙色渦流過早燃燒。(6)當(dāng)使用有毒的沐浴劑,,例如帆鹽,,鉛和堿時,請保持通風(fēng)良好,。(7)定期對鹽浴進行脫氧,,清理并添加新的鹽,并清理工業(yè)爐中的氧化鐵垢等污垢,,以防止電阻絲因短路而燒毀,。(8)經(jīng)常檢查工業(yè)爐爐膛磚石是否損壞或松動,并及時進行維修,。 檢查加熱元件和熱電偶端子的密封,,以及電線的接觸是否良好,。
金華箱式爐(退火爐)的常識:在金華箱式爐中處理鈦合金時,不應(yīng)將氮氣用作冷卻氣體,,因為鈦和氮氣會在高溫下反應(yīng)形成金黃色的氮化鈦,。真空爐的所有可移動連接部件均通過O形圈密封,并通過水進行冷卻,。 工件在真空下淬火,。應(yīng)使用真空淬火油。該油具有較低的飽和蒸氣壓,。 真空爐的維護應(yīng)處于真空或充氮狀態(tài),,以免在不使用時吸入和吸收水分。國產(chǎn)真空爐的壓力上升率應(yīng)不大于1.33Pa / h,,國外一些企業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)為0.67Pa / h,。真空加熱主要基于輻射,并且工件應(yīng)在爐內(nèi)隔開,。在加熱過程中,,爐內(nèi)的工件和材料將放氣以降低真空度。真空退火,,真空退火,,真空固溶處理和真空老化的加熱溫度通常與常規(guī)處理的加熱溫度相同。真空退火爐應(yīng)具有快速冷卻裝置,。冷卻水壓力應(yīng)大于0.2Mpa,流量應(yīng)可調(diào),。冷卻氣體:鋼通常使用99.995%的氮氣,,高溫合金通常使用99.999%的氮氣或氬氣,鈦合金使用99.995%的氬氣,。溫升:放入工件后,,通常在加熱之前將其預(yù)先泵送至6.67Pa。
金華箱式爐主要由外罩,,內(nèi)管,,對流管,燃燒器,,爐底攪拌循環(huán)風(fēng)機,,強制冷卻風(fēng)機,甲醇裂化爐等組成,。外殼由鋼板外殼,,爐襯和爐頂懸掛梁組成。 外殼是整個爐體的結(jié)構(gòu)支撐,。 下部有一對導(dǎo)向環(huán),,用于固定在爐膛兩側(cè)高度略有不同的導(dǎo)向柱上,,以確保蓋和爐膛的中心線重合。內(nèi)筒的功能是將煙道氣流動空間與工件所處的受控氣氛流動空間分隔開,,同時,,它也是傳熱過程中的熱交換表面。 金華箱式爐內(nèi)筒具有良好的密封性能,,較強的耐高溫性和抗氧化性,,并具有一定的剛度,可以增加換熱面積,,減少變形,,延長使用壽命。對流氣缸的作用是確保將要處理的物料與內(nèi)缸分離,,并為對流通道提供受控的氣氛,。 熱氣流首先沿對流氣缸和內(nèi)氣缸之間的環(huán)面上升,然后下降進入物料堆,。 環(huán)空中的氣體速度很高并且保持不變,,這有利于氣流與內(nèi)筒之間的熱傳遞。