麗水臺車爐特點(diǎn)(1)嚴(yán)格的真空密封:眾所周知,,金屬零件的真空熱處理是在密閉的真空爐中進(jìn)行的,。因此,,麗水臺車爐獲得并保持了爐子的原始泄漏率,,以確保真空爐的真空度,。質(zhì)量很重要。 因此,,真空退火熱處理爐的關(guān)鍵問題是具有可靠的真空密封結(jié)構(gòu),。為了確保真空爐的真空性能,在真空退火熱處理爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須遵循基本原理,,即爐體必須氣密焊接,,同時(shí), 爐體應(yīng)盡可能少地打開或關(guān)閉,。密封結(jié)構(gòu)可最 大程度減少真空泄漏的機(jī)會,。安裝在真空爐主體上的組件和配件,例如水冷電極和熱電偶引出裝置,,也必須設(shè)計(jì)成密封結(jié)構(gòu)(2)大多數(shù)加熱和保溫材料只能在真空狀態(tài)下使用:真空退火熱處理爐的加熱和保溫襯里是在真空和高溫下工作的,,因此建議這些材料能耐高溫和低蒸汽壓 。輻射效果好,,導(dǎo)熱系數(shù)小,。抗氧化性能不高,。因此,,真空退火熱處理爐廣泛使用鉭,鎢,,鉬和石墨作為加熱和絕熱材料,。這些材料在大氣中極易氧化,因此常規(guī)的加熱爐不能使用這些加熱和絕緣材料,。
麗水臺車爐是根據(jù)用戶要求專門設(shè)計(jì)的非標(biāo)準(zhǔn)電爐,。 麗水臺車爐主要用于鋁工業(yè)中各種工件的熱處理,例如淬火和加熱,。使用條件:1.室內(nèi)使用,。2.環(huán)境溫度為-5℃-40℃。3.使用區(qū)域的月平均相對濕度不超過85%,,月平均溫度不超過30°C,。4.沒有導(dǎo)電性粉塵,,爆炸性氣體和腐蝕性氣體會嚴(yán)重?fù)p壞金屬和絕緣。5.沒有明顯的振動和顛簸,。該爐由爐體,,爐門,加熱元件,,通風(fēng)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)組成,。爐體由型鋼和鋼板焊接而成。爐襯的內(nèi)壁通過不銹鋼板整體與爐殼連接,。爐體和爐套中填充了硅酸鋁耐火纖維以進(jìn)行隔熱,。爐門設(shè)計(jì)在爐體的下部,這意味著工件從下方進(jìn)入和離開,。爐體的下部開口被打開,,并且爐門的打開和關(guān)閉動作被機(jī)械地驅(qū)動,并且由電動機(jī),,減速齒輪箱,,鏈輪,鏈條,,軌道等完成,。加熱元件采用高電阻合金電阻帶,該電阻帶通過特殊的掛鉤布置在襯套的兩側(cè),,以與襯套絕緣,。風(fēng)扇由鼓風(fēng)機(jī)和導(dǎo)風(fēng)板組成。
麗水臺車爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,,該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,,制造致密的沉積薄膜,改變生長薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,,移動摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,,也可以單獨(dú)處理。 麗水臺車爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,,可節(jié)電60%。根據(jù)熱源的分類,,將退火爐分為電加熱爐,燃煤退火爐,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),,該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。
一,、麗水臺車爐通電后無法開機(jī)1,、電源不符合規(guī)格的要求排除方法:1、接上規(guī)格上面要求的電源2,、把零線接上二,、鋁合金淬火爐加熱開關(guān)沒有開,但是溫度在上升原因分析:加熱交流接觸器的觸頭粘合在一起,,無法斷開,。排除方法:更換接觸器。三,、麗水臺車爐爐體內(nèi)部的溫度不均,,出現(xiàn)異常偏高原因分析:1、熱電偶反應(yīng)不靈敏2,、溫控儀不靈敏,,動作失控3、工件擺放不合理,,爐門沒有關(guān)好排除方法:1,、更換熱電偶2、更換溫控儀3,、改變工件的放置方法,,關(guān)好爐門四、打開加熱開關(guān),,電源跳閘原因分析:1,、發(fā)熱絲以及電爐短路2、電源總閘開關(guān)容量過小3,、主電源開關(guān)盒安裝了漏電保護(hù)開關(guān),,但是接線不正確排除方法:1、拆開爐體的內(nèi)部四周,,檢查發(fā)熱絲2,、更換大容量的開關(guān)3,、檢查線路并且更正
麗水臺車爐控制系統(tǒng)主要通過爐子的溫度和壓力檢測來調(diào)節(jié)和控制每個(gè)爐子的燃?xì)夤艿懒髁浚瑹煹罋饬髁亢拖♂岋L(fēng)量,,并配有快速阻氣裝置,。 麗水臺車爐爐壓力的不均勻性對加熱爐的使用有很大的影響。當(dāng)罩式淬火爐的壓力較高時(shí),,爐內(nèi)氣體會從爐體的密封間隙中噴出,,形成氣流沖刷。用纖維材料密封的爐門和爐底被壓實(shí),。影響很大,。同時(shí),高混合氣流也會影響爐體和控制設(shè)備的周圍環(huán)境,。當(dāng)爐壓力低時(shí),,除了密封件的氧化外,冷空氣還從密封間隙中吸入,,爐中的高溫又被負(fù)壓迅速抽出而形成燃料浪費(fèi),。為此,將爐壓力測量點(diǎn)安裝在排氣管上,,以操作電動調(diào)節(jié)氣閥,,以將爐壓力保持在略為正壓的狀態(tài)。爐子由分區(qū)的爐子溫度控制,。每個(gè)區(qū)域都配備有一個(gè)熱電偶,,該熱電偶可測量溫度并輸入多點(diǎn)記錄器。它收集并跟蹤爐中的溫度,。罩式淬火爐可靠的聯(lián)鎖系統(tǒng)小車與爐門的聯(lián)鎖,。當(dāng)爐門未按適當(dāng)?shù)姆较虼蜷_時(shí),手推車將被鎖定和退出,,而當(dāng)手推車的密封未打開時(shí),,手推車將鎖定和退出。當(dāng)空氣,,氣體壓力和壓縮空氣壓力不符合規(guī)定的要求時(shí),,燃燒器的焚化將不會開始,如果被焚化,,燃燒器將關(guān)閉,。