安吉井式爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,，制造致密的沉積薄膜,，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷,，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化，也可以單獨(dú)處理,。 安吉井式爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類,，將退火爐分為電加熱爐，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

安吉井式爐（退火爐）的常識(shí)：在安吉井式爐中處理鈦合金時(shí)，不應(yīng)將氮?dú)庥米骼鋮s氣體,，因?yàn)殁伜偷獨(dú)鈺?huì)在高溫下反應(yīng)形成金黃色的氮化鈦,。真空爐的所有可移動(dòng)連接部件均通過O形圈密封，并通過水進(jìn)行冷卻,。 工件在真空下淬火,。應(yīng)使用真空淬火油。該油具有較低的飽和蒸氣壓,。 真空爐的維護(hù)應(yīng)處于真空或充氮狀態(tài),，以免在不使用時(shí)吸入和吸收水分。國(guó)產(chǎn)真空爐的壓力上升率應(yīng)不大于1.33Pa / h,，國(guó)外一些企業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)為0.67Pa / h,。真空加熱主要基于輻射，并且工件應(yīng)在爐內(nèi)隔開,。在加熱過程中,，爐內(nèi)的工件和材料將放氣以降低真空度。真空退火,，真空退火,，真空固溶處理和真空老化的加熱溫度通常與常規(guī)處理的加熱溫度相同。真空退火爐應(yīng)具有快速冷卻裝置,。冷卻水壓力應(yīng)大于0.2Mpa,，流量應(yīng)可調(diào),。冷卻氣體：鋼通常使用99.995％的氮?dú)猓邷睾辖鹜ǔＪ褂?9.999％的氮?dú)饣驓鍤?，鈦合金使?9.995％的氬氣,。溫升：放入工件后，通常在加熱之前將其預(yù)先泵送至6.67Pa,。

安吉井式爐用途也較為廣泛,，主要工作在自然氣氛或保護(hù)氣氛中，對(duì)較長(zhǎng)金屬工件(桿類,、長(zhǎng)軸類)進(jìn)行熱處理或燒結(jié),。電爐設(shè)有大型通風(fēng)機(jī)裝置，提高爐內(nèi)溫度均勻度,；安吉井式爐電爐分多區(qū)控制,，進(jìn)一步提高爐溫均勻性；爐膛內(nèi)帶不銹鋼導(dǎo)風(fēng)桶,；爐蓋啟閉采用行車起吊或自動(dòng)液壓開閉機(jī)構(gòu),，且?guī)в袑?dǎo)向柱，保證爐蓋啟閉平穩(wěn),；爐蓋與爐體采用耐高溫纖維棉制作,，爐體保溫性能好，節(jié)約能源,，降低生產(chǎn)成本,；無污染，環(huán)保效益好,。

目前,，中國(guó)<10t / h的燃煤鍋爐大多使用煤和尾部濕法簡(jiǎn)單脫硫技術(shù)。煤中硫含量<0,、5％,，灰分約為10％，簡(jiǎn)單脫硫效率一般為30％至50％,； ≥10t/ H的燃煤鍋爐大多使用大麻水膜脫硫和除塵器,。安吉井式爐脫硫效率通常為30％至60％，除塵效率大于96％,。通過“九五”規(guī)劃,，我國(guó)工業(yè)鍋爐煙氣脫硫技術(shù)得到了進(jìn)一步發(fā)展。 “濕法脫硫除塵工藝及設(shè)備研究”是針對(duì)我國(guó)燃煤量大,，種類差異大的中小型燃煤鍋爐現(xiàn)狀的科技攻關(guān)項(xiàng)目,。煤炭的使用，是影響中國(guó)城市大氣環(huán)境質(zhì)量的主要污染源。它是在“第八個(gè)五年”技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)上開發(fā)出的五類產(chǎn)品和典型的脫硫工藝系列,，已在工程中應(yīng)用,。安吉井式爐具有廣泛的應(yīng)用范圍，性能穩(wěn)定,，投資和運(yùn)營(yíng)成本低,。同時(shí)，它解決了常見問題,，例如灰水污染的水體,，使用壽命短，嚴(yán)重的設(shè)備水殘留以及鈣基脫硫系統(tǒng)易于結(jié)垢,。它的整體研究是先進(jìn)的,，并且已經(jīng)獲得了四項(xiàng)中國(guó)zhuanli。這是一種適合中國(guó)國(guó)情的實(shí)用技術(shù)