上海工業(yè)電爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程，該過(guò)程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面，制造致密的沉積薄膜,，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化，也可以單獨(dú)處理,。 上海工業(yè)電爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類，將退火爐分為電加熱爐,，燃煤退火爐,，燃油退火爐，天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用。 氣體退火爐消除了燃燒室,，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng)，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

中國(guó)的燃煤工業(yè)鍋爐主要分為蒸發(fā)量≥1t/ h的生產(chǎn)鍋爐和供熱鍋爐,。數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的家庭的大型和大型茶水爐灶，公益爐灶和炊具爐灶,； 工業(yè)生產(chǎn)窯爐,。工業(yè)爐主要用于加熱，鍛造,，干燥和成型砂它們大多數(shù)是手動(dòng)燃燒爐,，因此上海工業(yè)電爐加煤和打煤階段會(huì)冒出黑煙。近年來(lái),，盡管在能源結(jié)構(gòu)重建方面已經(jīng)做了大量工作,，但在許多地區(qū)，該部分窯的排煙濃度很高,，Lingerman的黑度高于第二級(jí),，仍然迫切需要開(kāi)發(fā)窯污 2.≥1t/ h的生產(chǎn)和加熱鍋爐這部分鍋爐一般是機(jī)械燃燒，完全燃燒,，除塵設(shè)備安裝在尾部,。工業(yè)電爐在良好的運(yùn)行管理?xiàng)l件下，可以滿足鍋爐的大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn),。 其中,，燃煤鍋爐的1至<10t / h經(jīng)常使用多管旋風(fēng)分離器。除塵效率通常為90％至95％,。細(xì)塵的分類效率為dc50約為5μm,； 馬氏文丘里管經(jīng)常使用水膜除塵器，除塵效率一般在95％以上,，dc50細(xì)粉塵的分級(jí)效率約為3μm,。

上海工業(yè)電爐構(gòu)造與普通井式爐相同，由爐體,、爐蓋,、加熱元件、裝料筐,、吊架和溫控系統(tǒng)等組成,。 上海工業(yè)電爐爐體外殼用鋼材焊接成圓桶狀，內(nèi)用0.6g/cm3超輕質(zhì)節(jié)能耐火磚砌筑成豎井式爐膛,，承重部位和易碰撞部位用重質(zhì)耐火磚砌筑,，且砌筑時(shí)泥漿中摻入適量水玻璃，進(jìn)步爐襯構(gòu)造強(qiáng)度，保溫層采用硅酸鋁耐火纖維,、石棉板,、硅藻土保溫磚復(fù)合構(gòu)造，進(jìn)步爐體保溫性能,，降低爐壁溫升,。該構(gòu)造既可進(jìn)步爐蓋保溫性能，又減輕了爐蓋重量,，有利于爐蓋的啟閉,。爐蓋的啟閉是經(jīng)過(guò)行車起吊來(lái)停止的。爐蓋與爐體的密封是經(jīng)過(guò)密封槽來(lái)停止的,，運(yùn)用時(shí)密封槽一次注滿清潔干河砂(或砂棉)即可,，不用每爐添加。

（1）上海工業(yè)電爐的燃燒器應(yīng)沿熔池的切線方向安裝,。浴鍋每隔一定的時(shí)間（例如每周）每30到40轉(zhuǎn)一次,，以防止浴鍋過(guò)熱和燒壞，以延長(zhǎng)浴鍋的壽命,。（2）在熔池法蘭和爐盤(pán)之間涂上耐火水泥或石棉襯墊密封墊,，以防止熔融鹽流入爐中。上海工業(yè)電爐不宜用燃料加熱硝酸鹽爐,，以防止在爐管燒穿后由炭黑和硝酸鹽的作用引起的爆炸,。（3）轉(zhuǎn)向架爐膛的爐膛底部應(yīng)設(shè)有鹽孔，以備事故發(fā)生時(shí)將熔融鹽排出,，并通常用適當(dāng)?shù)牟牧隙伦?。?）臺(tái)車爐使用兩個(gè)熱電偶分別測(cè)量鹽浴和加熱元件附近的爐溫。（5）使用氰化物,，鉛,，堿等有毒鹽時(shí)，應(yīng)配備堅(jiān)固的通風(fēng)裝置,。新購(gòu)買(mǎi)或翻新的電極鹽浴爐應(yīng)進(jìn)行烘烤,。 它可以用電阻絲爐烘烤，分段加熱并絕緣,，以防止混凝土浴中出現(xiàn)裂縫,。爐殼和變壓器接地。銅條應(yīng)與電極手柄良好接觸,。檢查浴槽，電極,，電極手柄,，變壓器和水冷卻裝置是否短路。清除爐子所有部位的粘鹽，水垢和其他污垢,。