安吉淬火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程,,該過(guò)程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,制造致密的沉積薄膜,,改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,也可以單獨(dú)處理,。 安吉淬火爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,可節(jié)電60%,。根據(jù)熱源的分類,,將退火爐分為電加熱爐,燃煤退火爐,,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐。 其中,,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。
一,、安吉淬火爐通電后無(wú)法開(kāi)機(jī)1、電源不符合規(guī)格的要求排除方法:1,、接上規(guī)格上面要求的電源2,、把零線接上二、鋁合金淬火爐加熱開(kāi)關(guān)沒(méi)有開(kāi),,但是溫度在上升原因分析:加熱交流接觸器的觸頭粘合在一起,,無(wú)法斷開(kāi)。排除方法:更換接觸器,。三,、安吉淬火爐爐體內(nèi)部的溫度不均,出現(xiàn)異常偏高原因分析:1,、熱電偶反應(yīng)不靈敏2,、溫控儀不靈敏,,動(dòng)作失控3、工件擺放不合理,,爐門(mén)沒(méi)有關(guān)好排除方法:1,、更換熱電偶2、更換溫控儀3,、改變工件的放置方法,,關(guān)好爐門(mén)四、打開(kāi)加熱開(kāi)關(guān),,電源跳閘原因分析:1,、發(fā)熱絲以及電爐短路2、電源總閘開(kāi)關(guān)容量過(guò)小3,、主電源開(kāi)關(guān)盒安裝了漏電保護(hù)開(kāi)關(guān),,但是接線不正確排除方法:1、拆開(kāi)爐體的內(nèi)部四周,,檢查發(fā)熱絲2,、更換大容量的開(kāi)關(guān)3、檢查線路并且更正
安吉淬火爐基于鋼的相變臨界點(diǎn),。加熱時(shí),,安吉淬火爐必須形成微細(xì)且均勻的奧氏體晶粒,,淬火后需要獲得微細(xì)的馬氏體組織,。碳鋼的淬火加熱溫度范圍。淬火爐加熱溫度范圍圖中所示的淬火溫度選擇原理也適用于大多數(shù)合金鋼,,尤其是低合金鋼,。次共析鋼的加熱溫度比Ac3溫度高30至50°C。從圖中可以看出,,鋼在高溫下的狀態(tài)處于單相奧氏體(A)區(qū),,因此稱為全淬火。如果亞共析鋼的加熱溫度高于Ac1且低于Ac3溫度,,則第一共析鐵素體的一部分在高溫下不會(huì)轉(zhuǎn)變成奧氏體,,即,不是所有(或亞臨界)淬火,。高共析鋼的淬火溫度比Ac1溫度高30-50°C,,該溫度范圍在奧氏體和滲碳體(A C)兩相區(qū)域。因此,,超共析鋼的常規(guī)淬火仍未全部淬火,。硬化后,獲得分布在馬氏體基體上的滲碳體組織,。這種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)具有高硬度和高耐磨性,。 對(duì)于超共析鋼,,如果加熱溫度過(guò)高,則第一個(gè)共析滲碳體會(huì)溶解過(guò)多,,甚至全部溶解,,奧氏體晶粒會(huì)長(zhǎng)大,奧氏體碳含量也會(huì)增加,。淬火后,,粗的馬氏體組織增加了鋼淬火微觀區(qū)域的應(yīng)力,增加了微裂紋的數(shù)量,,并增加了零件的變形和開(kāi)裂趨勢(shì),。由于奧氏體的碳濃度高,因此馬氏體點(diǎn)降低,,殘留奧氏體量減少,。增加,降低工件的硬度和耐磨性,。
安吉淬火爐采用節(jié)能結(jié)構(gòu),,全纖維爐結(jié)構(gòu),安吉淬火爐并以清潔燃?xì)鉃槟茉?。臺(tái)車式退火熱處理爐由提升機(jī)驅(qū)動(dòng),,該爐由耐火磚制成,電車用作可移動(dòng)爐床臺(tái)車式退火爐廣泛用于:鋼鐵廠,,特殊鋼,,機(jī)械加工,化工機(jī)械,,重工業(yè),,冶煉,鑄造,,鍛造,,法蘭環(huán),鋼部件,,拉絲,,環(huán)保設(shè)備,機(jī)械配套設(shè)備,,裝載機(jī),,柴油機(jī) 用于其他行業(yè)的熱處理車間。輥式微晶玻璃電退火爐主要用于微晶玻璃板及其制品的一次應(yīng)力退火,。爐體總長(zhǎng)超過(guò)25米,,使用溫度為850°C。主要技術(shù)參數(shù)1.爐長(zhǎng):> 25米,,已組裝(由爐晶板的前進(jìn)速度決定),;2.工作溫度:850℃(溫度可調(diào)),;3.功率:60-250(Kw / 380V);4.加熱方式:電加熱,;5.電加熱元件:電爐絲,,硅碳棒;6.溫控方式:PID智能數(shù)顯溫控,,可控硅晶閘管模塊控制,,線性比例輸出,手動(dòng)和自動(dòng)調(diào)節(jié),,溫控精度±1℃,;7.溫度控制點(diǎn):4-12; (輥溫度控制)
安吉淬火爐由爐體,,爐門(mén),,加熱元件,通風(fēng)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)組成,。安吉淬火爐爐體由型鋼和鋼板焊接而成,。爐襯的內(nèi)壁通過(guò)不銹鋼板整體與爐殼連接。爐體和爐套中填充了硅酸鋁耐火纖維以進(jìn)行隔熱,。爐門(mén)設(shè)計(jì)在爐體的下部,,這意味著工件從下方進(jìn)入和離開(kāi)。 爐體的下部開(kāi)口被打開(kāi),,并且爐門(mén)的打開(kāi)和關(guān)閉動(dòng)作被機(jī)械地驅(qū)動(dòng),,并且由電動(dòng)機(jī),減速齒輪箱,,鏈輪,,鏈條,,軌道等完成,。加熱元件采用高電阻合金電阻帶,該電阻帶通過(guò)特殊的掛鉤布置在襯套的兩側(cè),,以與襯套絕緣,。風(fēng)扇由鼓風(fēng)機(jī)和導(dǎo)風(fēng)板組成。 鼓風(fēng)機(jī)電機(jī)和加熱元件電氣互鎖,。 只有在鼓風(fēng)機(jī)打開(kāi)后才能給加熱元件通電,。 這確保了加熱元件可以在通風(fēng)循環(huán)中工作。 在爐體的下部設(shè)有一個(gè)池,,以便工件可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)入池中進(jìn)行淬火處理,。控制部分采用晶閘管和數(shù)顯表控制溫度和報(bào)警,。電爐在門(mén)的開(kāi)閉機(jī)構(gòu)和裝卸機(jī)構(gòu)上裝有限位開(kāi)關(guān),。 該開(kāi)關(guān)連接到控制柜電源,。