寧波電阻爐是屬于淬火爐的一種,,是一種非常先進(jìn)的真空熱處理設(shè)備,,主要應(yīng)用于對(duì)大,、中型真空產(chǎn)品零件的固溶處理以及時(shí)效處理,。和其他的電爐相比較,,寧波電阻爐特點(diǎn)有這么幾點(diǎn):1.溫度均勻度:真空淬火爐達(dá)到了用戶要求的溫度均勻性,,這通過循環(huán)風(fēng)扇,,通風(fēng)罩板,,爐子結(jié)構(gòu),,電熱功率的分布,,加熱元件的布置,控制裝置的相關(guān)設(shè)計(jì)來(lái)確保 方法和過程,,以及爐門的結(jié)構(gòu),。2.先進(jìn)的機(jī)械系統(tǒng):真空淬火爐系統(tǒng)的先進(jìn)性通過設(shè)計(jì),,組件選擇和質(zhì)量以及制造質(zhì)量來(lái)保證。 機(jī)械系統(tǒng)運(yùn)行平穩(wěn)可靠,,設(shè)備處于低噪音,,低振動(dòng)的工作狀態(tài)。3.完善的控制系統(tǒng):真空淬火爐的特點(diǎn)是在100?650℃溫度控制準(zhǔn)確,,系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,,操作簡(jiǎn)單,避免人為操作失誤,,功能齊全,。4.快速可調(diào)的淬火傳遞時(shí)間:真空淬火爐底開式爐門,雙速升降機(jī)構(gòu)和先進(jìn)的機(jī)械系統(tǒng)使淬火傳遞快速可靠,,并可根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)節(jié)時(shí)間.
寧波電阻爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程,,該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,制造致密的沉積薄膜,,改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,也可以單獨(dú)處理,。 寧波電阻爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,可節(jié)電60%,。根據(jù)熱源的分類,,將退火爐分為電加熱爐,燃煤退火爐,,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐。 其中,,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。
寧波電阻爐特點(diǎn)(1)嚴(yán)格的真空密封:眾所周知,,金屬零件的真空熱處理是在密閉的真空爐中進(jìn)行的,。因此,寧波電阻爐獲得并保持了爐子的原始泄漏率,,以確保真空爐的真空度,。質(zhì)量很重要。 因此,,真空退火熱處理爐的關(guān)鍵問題是具有可靠的真空密封結(jié)構(gòu),。為了確保真空爐的真空性能,在真空退火熱處理爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須遵循基本原理,,即爐體必須氣密焊接,,同時(shí), 爐體應(yīng)盡可能少地打開或關(guān)閉,。密封結(jié)構(gòu)可最 大程度減少真空泄漏的機(jī)會(huì)。安裝在真空爐主體上的組件和配件,,例如水冷電極和熱電偶引出裝置,,也必須設(shè)計(jì)成密封結(jié)構(gòu)(2)大多數(shù)加熱和保溫材料只能在真空狀態(tài)下使用:真空退火熱處理爐的加熱和保溫襯里是在真空和高溫下工作的,因此建議這些材料能耐高溫和低蒸汽壓 ,。輻射效果好,,導(dǎo)熱系數(shù)小??寡趸阅懿桓?。因此,真空退火熱處理爐廣泛使用鉭,,鎢,,鉬和石墨作為加熱和絕熱材料。這些材料在大氣中極易氧化,,因此常規(guī)的加熱爐不能使用這些加熱和絕緣材料,。
寧波電阻爐是一種高溫設(shè)備,它與燃油,、煤氣,、電能、灰塵等親密聯(lián)絡(luò)在一同,,容易惹起火災(zāi),、燒傷、爆炸,、中毒,、觸電等事故。因而,,工業(yè)爐與寧波電阻爐相比,,不平安要素要多得多,。普通說(shuō)來(lái),工業(yè)爐操作時(shí)的高溫容易發(fā)作燙傷,、灼傷和燒傷;高溫熔鹽和熔融金屬遇到水后會(huì)發(fā)作爆炸;煤氣和可控氛圍是易爆氣體,,油路、油箱和油庫(kù)都是易燃易爆設(shè)備,,如運(yùn)用不當(dāng),,則將發(fā)作爆炸和中毒事故;電爐的平安維護(hù)安裝失靈,接觸后會(huì)發(fā)作觸電;氰化爐的氰化物有劇毒;硝鹽爐加熱到550℃以上會(huì)產(chǎn)生自燃;硝鹽與木炭,、炭黑化合后會(huì)發(fā)作爆炸,。