天津滲碳爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程，該過程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面，制造致密的沉積薄膜,，改變生長薄膜的狀態(tài),，修復(fù)注入的損傷,，移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底,。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化,，也可以單獨(dú)處理,。 天津滲碳爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐，可節(jié)電60％,。根據(jù)熱源的分類,，將退火爐分為電加熱爐，燃煤退火爐,，燃油退火爐,，天然氣退火爐和氣體退火爐。 其中,，由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室，直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室,。 為了減少能量消耗,，氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng)，該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒,。

天津滲碳爐又稱硬模鍛造或持久型鍛造,，天津滲碳爐是將熔煉好的鋁合金澆入金屬型中取得鑄件的辦法，鋁合金固熔爐箱式淬火爐人多選用金屬型芯,，也可選用砂芯或殼芯等辦法,，與壓力鍛造相比，鋁合金固熔爐余屬型使用壽命長,。2,鍛造長處(1)長處金屬型冷卻速度較快,，鑄件組織較細(xì)密，可進(jìn)行熱處理強(qiáng)化,，力學(xué)性能比砂型鍛造高15%擺布,。箱式淬火爐，鑄件質(zhì)量安穩(wěn),，表而粗糙度優(yōu)于砂型鍛造,，廢品率低。勞動(dòng)條件好,，生產(chǎn)率高,，工人易于掌握,。(2)缺點(diǎn)金屬型導(dǎo)熱系數(shù)大，充型能力差,。金屬型木身無透氣性,。有必要采納相應(yīng)措施才能有用排氣。金屬型無退讓性,，易在凝固時(shí)發(fā)生裂紋和變形,。

（1）天津滲碳爐的燃燒器應(yīng)沿熔池的切線方向安裝。浴鍋每隔一定的時(shí)間（例如每周）每30到40轉(zhuǎn)一次,，以防止浴鍋過熱和燒壞,，以延長浴鍋的壽命,。（2）在熔池法蘭和爐盤之間涂上耐火水泥或石棉襯墊密封墊,，以防止熔融鹽流入爐中。天津滲碳爐不宜用燃料加熱硝酸鹽爐,，以防止在爐管燒穿后由炭黑和硝酸鹽的作用引起的爆炸,。（3）轉(zhuǎn)向架爐膛的爐膛底部應(yīng)設(shè)有鹽孔，以備事故發(fā)生時(shí)將熔融鹽排出,，并通常用適當(dāng)?shù)牟牧隙伦?。?）臺(tái)車爐使用兩個(gè)熱電偶分別測量鹽浴和加熱元件附近的爐溫。（5）使用氰化物,，鉛,，堿等有毒鹽時(shí)，應(yīng)配備堅(jiān)固的通風(fēng)裝置,。新購買或翻新的電極鹽浴爐應(yīng)進(jìn)行烘烤,。 它可以用電阻絲爐烘烤，分段加熱并絕緣,，以防止混凝土浴中出現(xiàn)裂縫,。爐殼和變壓器接地。銅條應(yīng)與電極手柄良好接觸,。檢查浴槽,，電極，電極手柄,，變壓器和水冷卻裝置是否短路,。清除爐子所有部位的粘鹽，水垢和其他污垢,。

新購置天津滲碳爐或重修的電極鹽浴爐應(yīng)烘爐,，可用電阻絲盤爐烘烤，分段升溫和保溫,，以防混凝土浴槽開裂,。工作時(shí)應(yīng)開動(dòng)排風(fēng)裝置,，停電時(shí)天津滲碳爐應(yīng)加蓋。爐殼與變壓器接地,。銅排與電極柄應(yīng)接觸良好,。檢查浴槽，電極,，電極柄,，變壓器及水冷卻裝置等部位有無漏電短路。清理爐子各部位的粘鹽,，氧化皮等污物,。鹽液面應(yīng)保持一定高度，以保證工件能均勻,，快速加熱,，應(yīng)及時(shí)脫氧，撈渣,，加足夠新鹽,。因電極鹽爐啟動(dòng)困難而哲時(shí)停爐時(shí)，可在爐口加蓋并在低檔供電下保溫,；長期停電應(yīng)撈出部分鹽液,，并安放啟動(dòng)裝置。

天津滲碳爐一,、用處：本井式球化退火爐適用于鋼帶,、銅帶、線材等工件停止光亮退火用,，回火,。同時(shí)也供其他機(jī)件熱處置之用。二,、主要技術(shù)參數(shù)： 1,、額定功率：280KW±10% 2、額定電壓：380V 3,、額定溫度：950℃ 4,、運(yùn)用溫度：0－950℃ 5、頻 率：50HZ 6,、相 數(shù)：3相 7,、工作尺寸:Φ1800×3000mm 8、空爐升溫時(shí)間：≦1.5h 9,、空爐損耗功率：44KW 10,、控溫區(qū)數(shù)：3區(qū) 11、控制方式：P I D 12、爐溫平均性：±10℃ 13,、接法：Y 14,、最 大裝載量：5000kg.三、爐型構(gòu)造：本井式球化退火爐是由爐體,、爐襯,、加熱元件、爐膽,、及控制系統(tǒng)等天津滲碳爐附件組成,。 ⑴ 爐體爐體是采用國標(biāo)型鋼和鋼板卷成圓桶焊接而成，角鋼卷增強(qiáng),，槽鋼底座,，構(gòu)造結(jié)實(shí).