北京網(wǎng)帶爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程,該過(guò)程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果,。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,,制造致密的沉積薄膜,,改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,,移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,,也可以單獨(dú)處理。 北京網(wǎng)帶爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,,可節(jié)電60%。根據(jù)熱源的分類(lèi),,將退火爐分為電加熱爐,,燃煤退火爐,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),,該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。
北京網(wǎng)帶爐構(gòu)造與普通井式爐相同,,由爐體,、爐蓋、加熱元件,、裝料筐,、吊架和溫控系統(tǒng)等組成。 北京網(wǎng)帶爐爐體外殼用鋼材焊接成圓桶狀,,內(nèi)用0.6g/cm3超輕質(zhì)節(jié)能耐火磚砌筑成豎井式爐膛,,承重部位和易碰撞部位用重質(zhì)耐火磚砌筑,且砌筑時(shí)泥漿中摻入適量水玻璃,,進(jìn)步爐襯構(gòu)造強(qiáng)度,,保溫層采用硅酸鋁耐火纖維、石棉板,、硅藻土保溫磚復(fù)合構(gòu)造,,進(jìn)步爐體保溫性能,降低爐壁溫升,。該構(gòu)造既可進(jìn)步爐蓋保溫性能,,又減輕了爐蓋重量,有利于爐蓋的啟閉,。爐蓋的啟閉是經(jīng)過(guò)行車(chē)起吊來(lái)停止的,。爐蓋與爐體的密封是經(jīng)過(guò)密封槽來(lái)停止的,,運(yùn)用時(shí)密封槽一次注滿清潔干河砂(或砂棉)即可,不用每爐添加,。
北京網(wǎng)帶爐一,、用處:本井式球化退火爐適用于鋼帶、銅帶,、線材等工件停止光亮退火用,,回火。同時(shí)也供其他機(jī)件熱處置之用,。二,、主要技術(shù)參數(shù): 1、額定功率:280KW±10% 2,、額定電壓:380V 3,、額定溫度:950℃ 4、運(yùn)用溫度:0-950℃ 5,、頻 率:50HZ 6,、相 數(shù):3相 7、工作尺寸:Φ1800×3000mm 8,、空爐升溫時(shí)間:≦1.5h 9,、空爐損耗功率:44KW 10、控溫區(qū)數(shù):3區(qū) 11,、控制方式:P I D 12,、爐溫平均性:±10℃ 13,、接法:Y 14,、最 大裝載量:5000kg.三、爐型構(gòu)造:本井式球化退火爐是由爐體,、爐襯,、加熱元件、爐膽,、及控制系統(tǒng)等北京網(wǎng)帶爐附件組成,。 ⑴ 爐體爐體是采用國(guó)標(biāo)型鋼和鋼板卷成圓桶焊接而成,角鋼卷增強(qiáng),,槽鋼底座,,構(gòu)造結(jié)實(shí).
北京網(wǎng)帶爐基于鋼的相變臨界點(diǎn)。加熱時(shí),,北京網(wǎng)帶爐必須形成微細(xì)且均勻的奧氏體晶粒,,淬火后需要獲得微細(xì)的馬氏體組織。碳鋼的淬火加熱溫度范圍,。淬火爐加熱溫度范圍圖中所示的淬火溫度選擇原理也適用于大多數(shù)合金鋼,,尤其是低合金鋼。次共析鋼的加熱溫度比Ac3溫度高30至50°C。從圖中可以看出,,鋼在高溫下的狀態(tài)處于單相奧氏體(A)區(qū),,因此稱為全淬火。如果亞共析鋼的加熱溫度高于Ac1且低于Ac3溫度,,則第一共析鐵素體的一部分在高溫下不會(huì)轉(zhuǎn)變成奧氏體,,即,不是所有(或亞臨界)淬火,。高共析鋼的淬火溫度比Ac1溫度高30-50°C,,該溫度范圍在奧氏體和滲碳體(A C)兩相區(qū)域。因此,,超共析鋼的常規(guī)淬火仍未全部淬火,。硬化后,獲得分布在馬氏體基體上的滲碳體組織,。這種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)具有高硬度和高耐磨性,。 對(duì)于超共析鋼,如果加熱溫度過(guò)高,,則第一個(gè)共析滲碳體會(huì)溶解過(guò)多,,甚至全部溶解,奧氏體晶粒會(huì)長(zhǎng)大,,奧氏體碳含量也會(huì)增加,。淬火后,粗的馬氏體組織增加了鋼淬火微觀區(qū)域的應(yīng)力,,增加了微裂紋的數(shù)量,,并增加了零件的變形和開(kāi)裂趨勢(shì)。由于奧氏體的碳濃度高,,因此馬氏體點(diǎn)降低,,殘留奧氏體量減少。增加,,降低工件的硬度和耐磨性,。