安吉罩式爐主要由外罩,,內(nèi)管,,對(duì)流管,燃燒器,,爐底攪拌循環(huán)風(fēng)機(jī),,強(qiáng)制冷卻風(fēng)機(jī),,甲醇裂化爐等組成。外殼由鋼板外殼,,爐襯和爐頂懸掛梁組成,。 外殼是整個(gè)爐體的結(jié)構(gòu)支撐。 下部有一對(duì)導(dǎo)向環(huán),,用于固定在爐膛兩側(cè)高度略有不同的導(dǎo)向柱上,,以確保蓋和爐膛的中心線重合。內(nèi)筒的功能是將煙道氣流動(dòng)空間與工件所處的受控氣氛流動(dòng)空間分隔開(kāi),,同時(shí),,它也是傳熱過(guò)程中的熱交換表面。 安吉罩式爐內(nèi)筒具有良好的密封性能,,較強(qiáng)的耐高溫性和抗氧化性,,并具有一定的剛度,可以增加換熱面積,,減少變形,,延長(zhǎng)使用壽命。對(duì)流氣缸的作用是確保將要處理的物料與內(nèi)缸分離,,并為對(duì)流通道提供受控的氣氛,。 熱氣流首先沿對(duì)流氣缸和內(nèi)氣缸之間的環(huán)面上升,然后下降進(jìn)入物料堆,。 環(huán)空中的氣體速度很高并且保持不變,,這有利于氣流與內(nèi)筒之間的熱傳遞。
安吉罩式爐是一種高溫設(shè)備,,它與燃油,、煤氣、電能,、灰塵等親密聯(lián)絡(luò)在一同,,容易惹起火災(zāi)、燒傷,、爆炸,、中毒、觸電等事故。因而,,工業(yè)爐與安吉罩式爐相比,,不平安要素要多得多。普通說(shuō)來(lái),,工業(yè)爐操作時(shí)的高溫容易發(fā)作燙傷,、灼傷和燒傷;高溫熔鹽和熔融金屬遇到水后會(huì)發(fā)作爆炸;煤氣和可控氛圍是易爆氣體,油路,、油箱和油庫(kù)都是易燃易爆設(shè)備,,如運(yùn)用不當(dāng),則將發(fā)作爆炸和中毒事故;電爐的平安維護(hù)安裝失靈,,接觸后會(huì)發(fā)作觸電;氰化爐的氰化物有劇毒;硝鹽爐加熱到550℃以上會(huì)產(chǎn)生自燃;硝鹽與木炭,、炭黑化合后會(huì)發(fā)作爆炸。
安吉罩式爐一,、用處:本井式球化退火爐適用于鋼帶,、銅帶、線材等工件停止光亮退火用,,回火,。同時(shí)也供其他機(jī)件熱處置之用。二,、主要技術(shù)參數(shù): 1,、額定功率:280KW±10% 2、額定電壓:380V 3,、額定溫度:950℃ 4,、運(yùn)用溫度:0-950℃ 5、頻 率:50HZ 6,、相 數(shù):3相 7,、工作尺寸:Φ1800×3000mm 8、空爐升溫時(shí)間:≦1.5h 9,、空爐損耗功率:44KW 10,、控溫區(qū)數(shù):3區(qū) 11、控制方式:P I D 12,、爐溫平均性:±10℃ 13,、接法:Y 14、最 大裝載量:5000kg.三,、爐型構(gòu)造:本井式球化退火爐是由爐體、爐襯,、加熱元件,、爐膽、及控制系統(tǒng)等安吉罩式爐附件組成。 ⑴ 爐體爐體是采用國(guó)標(biāo)型鋼和鋼板卷成圓桶焊接而成,,角鋼卷增強(qiáng),,槽鋼底座,構(gòu)造結(jié)實(shí).
安吉罩式爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程,,該過(guò)程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。 熱處理旨在實(shí)現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,,將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶圓基材界面,,制造致密的沉積薄膜,改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài),,修復(fù)注入的損傷,,移動(dòng)摻雜劑或摻雜劑 該試劑從一個(gè)膜轉(zhuǎn)移到另一膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,,例如氧化,,也可以單獨(dú)處理。 安吉罩式爐由設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成,。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能循環(huán)式操作爐,,可節(jié)電60%。根據(jù)熱源的分類,,將退火爐分為電加熱爐,,燃煤退火爐,燃油退火爐,,天然氣退火爐和氣體退火爐,。 其中,由自備的氣體發(fā)生器生產(chǎn)的氣體退火爐被廣泛使用,。 氣體退火爐消除了燃燒室,,直接使用氣體燃燒器將燃燒噴入加熱室。 為了減少能量消耗,,氣體退火窯通常配備有熱交換系統(tǒng),,該系統(tǒng)將空氣轉(zhuǎn)換成支持燃燒的熱空氣用于氣體燃燒。